Category:半導体製造
System-on-a-chip
System on a chipエッチング
Etchingエピタキシャル成長
Epitaxyシャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolationオーミック接触
Ohmic contact配線工程
Back end of lineスパッタリング
Sputtering物理気相成長
Physical vapor deposition電子線描画装置
Electron-beam lithography反応性イオンエッチング
Reactive-ion etchingプラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor depositionHigh-κ絶縁体
High-κ dielectricファブレス
Fabless manufacturingイオン注入
Ion implantationRCA洗浄
RCA clean原子層堆積
Atomic layer deposition回路配置利用権
化学気相成長
Chemical vapor depositionドープ
Doping (semiconductor)半導体の低消費電力技術
SOI
Silicon on insulatorJTAG
JTAGプローブカード
Probe card分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxyシリコンウェハー
ドーパント
Dopant基板工程
Front end of line極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography