Similar to 拡散ポンプ
テープアウト
Tape-outデザインルールチェック
Design rule checkingテスト対象デバイス
Device under testテストパターン
デバイスシミュレーション
電子線描画装置
Electron-beam lithography銅配線
Copper interconnectsドープ
Doping (semiconductor)ドナー (半導体)
ドーパント
Dopantドライエッチング
Dry etchingナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyナノトランスファープリンティング
Nanotransfer printingナノリソグラフィ
Nanolithography熱CVD
熱酸化
Thermal oxidation配線工程
Back end of lineバックグラインド
Wafer backgrindingバッファード オキサイド エッチ液
Buffered oxide etchハードマスク
Hardmask半導体故障解析
半導体集積回路の回路配置に関する法律
ファブレス
Fabless manufacturing半導体製造装置
半導体デバイス製造
Semiconductor device fabrication反応性イオンエッチング
Reactive-ion etchingビア (電子回路)
Via (electronics)微細加工技術
Microfabrication