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結晶構造および結晶方位の広領域測定 〜EBSDによる広域測定〜結晶構造や結晶方位を評価するEBSD法は、従来から測定面積が小さいという課題があり数ミリメートルにわたる広い領域の測定には不向きでした。今回、当社では低倍での測定手法を確立したことによって、従来では評価困難であったサブミリオーダーの大きな結晶粒を持つ材料に対して、広域のEBSD解析が可能となりました。この測定手法を用いて、金属溶接部および軟磁性材料(パーマロイ)の広域EBSD解析を行い、結晶方位や歪の評価を行いました。
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