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Shallow Trench Isolation ( STI ) Chemical Mechanical Polishing ( CMP ) Process for Advanced Logic Technology view page

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. 3. From the figure poly-Si shallow trench isolation (STI) is... view page

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【図解】半導体製造工程の流れ view page

Isolation Techniques – LOCOS & STIDevice Isolation Techniques view page

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US20050151222A1 - Shallow trench isolation process and structure with minimized strained silicon consumption - Google PatentsFamily view page

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