
ラザフォード後方散乱分光法
(Rutherford Backscattering Spectrometry:RBS)

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ラザフォード散乱(読み)らざふぉーどさんらん(英語表記)Rutherford scattering

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ラザフォード散乱実験または金箔実験におけるアルファ粒子 - イラスト素材...

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図2 表面ラフネス(表面の粗さ)が異なる Si 基板のX線反射率プロファイル

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