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結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発 view page

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短チャネル効果とは何か 【半導体物理】短チャネル効果とは何かドレイン誘起障壁低下 Drain-Induced Barrier Lowering (DIBL)表面散乱 Surface Scattering速度飽和 Velocity Saturation衝突電離 Impact Ionizationホットキャリア注入 Hot Carrier Injection view page

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半導体のイオン注入法とは？【不純物ドープ】 view page

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SiCパワー半導体用高温イオン注入装置、納入開始：従来装置に比べ生産性は約3倍に view page

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結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発 view page

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