プラズマCVD

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  [書籍] プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例

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  プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 ～「所望の薄膜」を形成するプラズマCVDプロセスの確立に向けて～ 基礎から応用まで網羅した実務者必携の一冊！ プラズマCVDの反応機構の理解から成膜条件の最適化まで 監修 大阪市立大学 白藤 立 先生 他 発行…
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  [書籍] プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例

  55,000円

  ■目次 第1章 目的に応じた成膜方式の選定 　1. なぜプラズマCVDを使うのか 　2. ドライvs.ウェット 　3. PVDとCVD 　4. PVDとCVDに共通の描像 　　4.1 表面ポテンシャル・マイグレーション・熱 　　4.2 ダングリングボンド 　5. PVDとCVDの違い 　　5.1…
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  著者：河田一喜出版社：日刊工業新聞社サイズ：単行本ISBN-10：4526068519ISBN-13：9784526068515■通常24時間以内に出荷可能です。※繁忙期やセール等、ご注文数が多い日につきましては　発送まで48時間かかる場合があります。あらかじめご了承ください。…

Dictionary

• プラズマ

  プラズマ
  plasma
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