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[書籍] プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例
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プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 ~「所望の薄膜」を形成するプラズマCVDプロセスの確立に向けて~ 基礎から応用まで網羅した実務者必携の一冊! プラズマCVDの反応機構の理解から成膜条件の最適化まで 監修 大阪市立大学 白藤 立 先生 他 発行…
【中古】本当によくわかる窒化・浸炭・プラズマCVD 高機能表面改質法の基礎と応用/日刊工業新聞社/河田一喜(単行本)
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◆◆◆非常にきれいな状態です。中古商品のため使用感等ある場合がございますが、品質には十分注意して発送いたします。 【毎日発送】 商品状態 著者名 河田一喜 出版社名 日刊工業新聞社 発売日 2012年03月 ISBN 9784526068515
【中古】 本当によくわかる窒化・浸炭・プラズマCVD / 河田一喜 / 日刊工業新聞社 [単行本]【宅配便出荷】
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著者:河田一喜出版社:日刊工業新聞社サイズ:単行本ISBN-10:4526068519ISBN-13:9784526068515■通常24時間以内に出荷可能です。※繁忙期やセール等、ご注文数が多い日につきましては 発送まで48時間かかる場合があります。あらかじめご了承ください。…
【中古】 本当によくわかる窒化・浸炭・プラズマCVD / 河田一喜 / 日刊工業新聞社 [単行本]【ネコポス発送】
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[書籍] プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例
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■目次 第1章 目的に応じた成膜方式の選定 1. なぜプラズマCVDを使うのか 2. ドライvs.ウェット 3. PVDとCVD 4. PVDとCVDに共通の描像 4.1 表面ポテンシャル・マイグレーション・熱 4.2 ダングリングボンド 5. PVDとCVDの違い 5.1…
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