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化学機械研磨

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  • 化学
    かがく
    chemistry
    0
  • 機械
    きかい
    machine / mechanism
    0
  • 研磨
    けんま
    grinding / polishing / studying
    0
圖四　化學機械研磨(CMP)的設備與製程參數。資料來源：曲博科技教室。

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