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原子層エッチング - Atomic layer etching

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  • 原子
    げんし
    atom
    0
  • 層
    そう
    layer / seam / bed / stream / class
    0
  • エッチング
    エッチング
    etching
    0

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化合物エッチング装置 「Spica（スピカ）」 の加工性能実例を紹介

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