Category:フォトリソグラフィ
フォトマスク
Photomask
フォトリソグラフィ
Photolithography
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
フォトレジスト
Photoresist
電子線描画装置
Electron-beam lithography
ステッパー
Stepper
液浸
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LIGA
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マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
マイクロコンタクトプリンティング
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ナノインプリント・リソグラフィ
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