Category:フォトリソグラフィ
フォトレジスト
Photoresist
LIGA
LIGASU-8
SU-8 photoresist
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingソフトリソグラフィ
Soft lithography
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
液浸
Oil immersion
ステッパー
Stepper
フォトリソグラフィ
Photolithography
電子線描画装置
Electron-beam lithography
フォトマスク
Photomask
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography