Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
ステッパー
Stepper
フォトマスク
Photomask
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
液浸
Oil immersion
フォトレジスト
Photoresist
LIGA
LIGASU-8
SU-8 photoresist
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
ソフトリソグラフィ
Soft lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
電子線描画装置
Electron-beam lithography
フォトリソグラフィ
Photolithography