Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
ステッパー
Stepper
ソフトリソグラフィ
Soft lithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
電子線描画装置
Electron-beam lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
液浸
Oil immersion
LIGA
LIGASU-8
SU-8 photoresist
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
フォトマスク
Photomask
フォトレジスト
Photoresist
フォトリソグラフィ
Photolithography