Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
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Photolithographyフォトレジスト
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SU-8 photoresistステッパー
Stepper液浸
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Electron-beam lithographyLIGA
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Soft lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingマスクレス リソグラフィ
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Nanoimprint lithography