Category:フォトリソグラフィ
フォトマスク
Photomask
フォトリソグラフィ
Photolithography
フォトレジスト
Photoresist
電子線描画装置
Electron-beam lithography
ステッパー
Stepper
液浸
Oil immersion
LIGA
LIGASU-8
SU-8 photoresist
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithographyソフトリソグラフィ
Soft lithography
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography