Category:フォトリソグラフィ
電子線描画装置
Electron-beam lithographyフォトマスク
Photomaskソフトリソグラフィ
Soft lithographyLIGA
LIGAマスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingフォトレジスト
Photoresist液浸
Oil immersionナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographySU-8
SU-8 photoresistステッパー
Stepperフォトリソグラフィ
Photolithography極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography