Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography▲1 trends
電子線描画装置
Electron-beam lithography
LIGA
LIGA
フォトレジスト
Photoresist
ソフトリソグラフィ
Soft lithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
フォトリソグラフィ
Photolithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographySU-8
SU-8 photoresist
ステッパー
Stepper
フォトマスク
Photomask
液浸
Oil immersion