Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
フォトリソグラフィ
Photolithography
電子線描画装置
Electron-beam lithography
液浸
Oil immersion
フォトマスク
Photomask
ナノインプリント・リソグラフィ
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ステッパー
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マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
LIGA
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マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
フォトレジスト
Photoresistソフトリソグラフィ
Soft lithographySU-8
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