Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography▲1 trends
電子線描画装置
Electron-beam lithography
LIGA
LIGASU-8
SU-8 photoresist
液浸
Oil immersion
ソフトリソグラフィ
Soft lithography
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
フォトリソグラフィ
Photolithography
ステッパー
Stepper
フォトレジスト
Photoresist
フォトマスク
Photomask