Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
ステッパー
Stepper
フォトレジスト
Photoresist
フォトマスク
Photomask
液浸
Oil immersion
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
LIGA
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ソフトリソグラフィ
Soft lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
フォトリソグラフィ
PhotolithographySU-8
SU-8 photoresist
電子線描画装置
Electron-beam lithography