Category:フォトリソグラフィ
LIGA
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マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingソフトリソグラフィ
Soft lithographySU-8
SU-8 photoresist
ステッパー
Stepper
電子線描画装置
Electron-beam lithography
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
液浸
Oil immersion
フォトマスク
Photomask
フォトリソグラフィ
Photolithography
フォトレジスト
Photoresist
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography