Category:フォトリソグラフィ
LIGA
LIGAマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyマスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyソフトリソグラフィ
Soft lithography電子線描画装置
Electron-beam lithography液浸
Oil immersionSU-8
SU-8 photoresistステッパー
Stepper極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithographyフォトマスク
Photomaskフォトリソグラフィ
Photolithographyフォトレジスト
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