Category:フォトリソグラフィ

極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
フォトリソグラフィ
Photolithography
電子線描画装置
Electron-beam lithography
フォトマスク
Photomask
液浸
Oil immersion
LIGA
LIGA
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
フォトレジスト
Photoresist
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
ソフトリソグラフィ
Soft lithography
ステッパー
StepperSU-8
SU-8 photoresist