Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithographyフォトマスク
Photomask▲1 trendsステッパー
Stepperフォトリソグラフィ
Photolithographyフォトレジスト
Photoresist液浸
Oil immersion電子線描画装置
Electron-beam lithographyソフトリソグラフィ
Soft lithographyナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyマスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingLIGA
LIGASU-8
SU-8 photoresist