Category:フォトリソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
ステッパー
Stepper
フォトリソグラフィ
Photolithography
液浸
Oil immersion
フォトレジスト
Photoresist
電子線描画装置
Electron-beam lithography
フォトマスク
PhotomaskSU-8
SU-8 photoresist
ソフトリソグラフィ
Soft lithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
LIGA
LIGA
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography