Category:フォトリソグラフィ
フォトマスク
Photomask
フォトリソグラフィ
Photolithography
フォトレジスト
Photoresist
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
電子線描画装置
Electron-beam lithography
液浸
Oil immersion
ステッパー
Stepper
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingソフトリソグラフィ
Soft lithography
LIGA
LIGASU-8
SU-8 photoresist
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography