Category:フォトリソグラフィ
フォトマスク
Photomask
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
フォトリソグラフィ
Photolithography
液浸
Oil immersionSU-8
SU-8 photoresist
電子線描画装置
Electron-beam lithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingソフトリソグラフィ
Soft lithography
LIGA
LIGA
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
ステッパー
Stepper
フォトレジスト
Photoresist