Category:半導体製造
ウェハー
Wafer (electronics)エピタキシャル成長
Epitaxyオーミック接触
Ohmic contactシリコンウェハー
SU-8
SU-8 photoresistチョクラルスキー法
Czochralski methodJTAG
JTAGステッパー
Stepperイレブンナイン
有機金属気相成長法
Metalorganic vapour-phase epitaxyシャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolationテープアウト
Tape-outドープ
Doping (semiconductor)High-κ絶縁体
High-κ dielectricドーパント
Dopant分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxyフォトリソグラフィ
Photolithography液浸
Oil immersion電子線描画装置
Electron-beam lithographyダイシングソー
Dicing sawイオン注入
Ion implantationスピンコート
Spin coatingミニマルファブ
配線工程
Back end of line化学気相成長
Chemical vapor depositionベーキング
Low hydrogen annealingラムリサーチ
Lam Research回路配置利用権