Category:半導体製造
分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxySOI
Silicon on insulatorプラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor depositionイオン注入
Ion implantationエッチング
EtchingSiP
System in a packageダイシング
Die preparation原子層堆積
Atomic layer deposition集束イオンビーム
Focused ion beamウェットエッチング
Chemical milling不純物
Chemical impurity液浸
Oil immersion5ナノメートル
5 nm processHigh-κ絶縁体
High-κ dielectricドーパント
Dopantダイボンダ
半導体故障解析
テストパターン
混合ガス
Gas blending for scuba diving歪みシリコン
Strained silicon熱CVD
メゾスコピック領域
Mesoscopic physicsStranski-Krastanovモード
Stranski–Krastanov growthツーフローMOCVD
ソリッドイマージョンレンズ
Solid immersion lensキャリアテープ
反応性イオンエッチング
Reactive-ion etchingドープ
Doping (semiconductor)