Category:半導体製造
ファウンドリ
Foundry model▲1 trends極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithographyステッパー
Stepperフォトマスク
Photomaskラムリサーチ
Lam ResearchSOI
Silicon on insulatorシリコンウェハー
ダイシング
Die preparation原子層堆積
Atomic layer deposition半導体試験装置
Automatic test equipment物理気相成長
Physical vapor deposition化学気相成長
Chemical vapor depositionエピタキシャル成長
Epitaxy垂直統合型デバイスメーカー
Integrated device manufacturerプローブカード
Probe cardレジスト
Resist (semiconductor fabrication)分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxyナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyJTAG
JTAGミニマルファブ
スパッタリング
Sputtering配線工程
Back end of lineオーミック接触
Ohmic contact熱酸化
Thermal oxidation液浸
Oil immersionRCA洗浄
RCA cleanアッシング
Ashingベーキング
Low hydrogen annealing