Category:半導体製造
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography▲1 trends
ウェハー
Wafer (electronics)
エッチング
Etching
シリコンウェハー
スパッタリング
Sputtering
SOI
Silicon on insulator
RCA洗浄
RCA clean
原子層堆積
Atomic layer deposition
プローブカード
Probe card
探針
Test probe
レジスト
Resist (semiconductor fabrication)
セカンドソース
Second source
シャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolation
電子線描画装置
Electron-beam lithography
熱酸化
Thermal oxidation
日本マイクロニクス
反応性イオンエッチング
Reactive-ion etching
半導体デバイス製造
Semiconductor device fabrication
半導体試験装置
Automatic test equipment
ファブレス
Fabless manufacturing
イレブンナイン
不純物
Chemical impurity
銅配線
Copper interconnects
メタライズ
Metallizing
分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxy
拡散ポンプ
Diffusion pump
オーミック接触
Ohmic contact
ベーキング
Low hydrogen annealing