Category:半導体製造
エピタキシャル成長
Epitaxyファウンドリ
Foundry modelSystem-on-a-chip
System on a chipフォトマスク
Photomaskラムリサーチ
Lam Researchオーミック接触
Ohmic contactファブレス
Fabless manufacturingスパッタリング
Sputteringフォトリソグラフィ
Photolithography原子層堆積
Atomic layer deposition拡散ポンプ
Diffusion pumpシリコンウェハー
分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxyプラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor depositionSU-8
SU-8 photoresist熱酸化
Thermal oxidation液浸
Oil immersion極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography電子線描画装置
Electron-beam lithography物理気相成長
Physical vapor deposition5ナノメートル
5 nm processSiP
System in a packageテストパターン
半導体デバイス製造
Semiconductor device fabricationダイボンダ
レジスト
Resist (semiconductor fabrication)JTAG
JTAG歪みシリコン
Strained silicon