Category:半導体製造
ファブレス
Fabless manufacturing化学機械研磨
Chemical-mechanical polishing日本マイクロニクス
回路配置利用権
ドライエッチング
Dry etching半導体デバイス製造
Semiconductor device fabricationシャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolation不純物
Chemical impuritySystem-on-a-chip
System on a chipHigh-κ絶縁体
High-κ dielectric探針
Test probe5ナノメートル
5 nm processハードマスク
Hardmaskメタライズ
Metallizingプローブカード
Probe cardプリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics熱CVD
電子線描画装置
Electron-beam lithography自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structures半導体故障解析
テスト対象デバイス
Device under testStranski-Krastanovモード
Stranski–Krastanov growthナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyデザインルールチェック
Design rule checking半導体集積回路の回路配置に関する法律
ワイヤボンダ
原子層エッチング
Atomic layer etching集束イオンビーム
Focused ion beam