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薄膜
Thin filmLADI
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Epitaxy化学気相成長
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原子層堆積
Atomic layer deposition自己組織化単分子膜
Self-assembled monolayer自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structures集束イオンビーム
Focused ion beam蒸着
スピンコート
Spin coatingゾルゲル法
Sol–gel process