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自己組織化リソグラフィ
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スピンコート
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物理気相成長
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薄膜
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アモルファスシリコン
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GRINコート
自己組織化単分子膜
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蒸着
ゾルゲル法
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東海大学マイクロ・ナノ研究開発センター
透明薄膜トランジスタ
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ハイドロブリーズ