Similar to シャロートレンチアイソレーション

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  SOI

  Silicon on insulator
  
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  オーミック接触

  Ohmic contact
  
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  銅配線

  Copper interconnects
  
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  熱酸化

  Thermal oxidation
  
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  11

  11 (number)
  ▲1 trends

  
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  13

  13 (number)
  
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  5ナノメートル

  5 nm process
  
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  High-κ絶縁体

  High-κ dielectric
  
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  LADI

  
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  RCA洗浄

  RCA clean
  
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  SiP

  System in a package
  
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  Stranski-Krastanovモード

  Stranski–Krastanov growth
  
• 

  SU-8

  SU-8 photoresist
  
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  System-on-a-chip

  System on a chip
  
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  アクセプタ (半導体)

  
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  アッシング

  Ashing
  
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  イオン注入

  Ion implantation
  
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  イレブンナイン

  
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  ウェットエッチング

  Chemical milling
  
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  ウェハー

  Wafer (electronics)
  
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  液浸

  Oil immersion
  
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  液浸リソグラフィ

  
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  エッチング

  Etching
  
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  エッチング (微細加工)

  Etching (microfabrication)
  
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  エピタキシャル成長

  Epitaxy
  
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  回路配置利用権

  
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  化学機械研磨

  Chemical-mechanical polishing
  
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  化学気相成長

  Chemical vapor deposition