Similar to 次世代リソグラフィ
液浸
Oil immersion液浸リソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography
ソリッドイマージョンレンズ
Solid immersion lensナノリソグラフィ
Nanolithography
微細加工技術
Microfabrication
フォトリソグラフィ
Photolithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyLADI
原子層エッチング
Atomic layer etching
原子層堆積
Atomic layer deposition
自己整合
自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structuresソフトリソグラフィ
Soft lithography
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyナノトランスファープリンティング
Nanotransfer printing
フォトマスク
Photomask
プリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics
分子エレクトロニクス
Molecular electronicsマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingメゾスコピック領域
Mesoscopic physics
光流体工学
Optofluidics
フォトニクス
Photonics
プラズモニクス
Plasmonics
5ナノメートル
5 nm process
High-κ絶縁体
High-κ dielectric
RCA洗浄
RCA cleanSiP
System in a package