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高空間分解能で化学物質を検出する超微細針「ナノニードル型ナノポアプローブ」を開発

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半導体微細化競争のカギ握るEUV、サムスン電子がTSMCに勝てそうもない理由

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imec、半導体微細化ロードマップを1nmへ向けて更新 - ITF Japan 2019

プロセス微細化でどう変わった?OCZの新エントリーSSD「Trion 150」検証

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3nm止まりか1nmか、微細化はレジスト開発が鍵:半導体ロードマップの展望(2/2 ページ)

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多層配線の微細化と性能向上を両立させる要素技術:福田昭のデバイス通信(284) Intelが語るオンチップの多層配線技術(5)

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ASCII.jp半導体プロセスまるわかり 微細化よりも高密度化に進むDRAMの未来