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化合物エッチング装置 「Spica（スピカ）」 の加工性能実例を紹介 view page

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メインメニュー2016年 | プレスリリース・研究成果カテゴリ view page

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【エッチングとは？】半導体におけるエッチング処理と装置について簡単に解説 view page

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原子核の形の基本原理と量子系での自己組織化 view page

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注目のコーティング：SCS ALD+パリレン多層コーティング view page

結晶シリコン系太陽電池の新材料、酸化チタン薄膜のヘテロ界面の構造を解明――高効率化に期待　名古屋大 view page

ALD（原子層堆積法）の原理と薄膜形成法【提携セミナー】ＡＬＤ（原子層堆積法）の原理と薄膜形成法《薄膜の特性・評価および制御、最適化》 view page

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株式会社菅製作所ALD装置（原子層堆積装置）原子層１層枚の均一なコントロールを行い、高膜質・段差被膜性の高い成膜が可能な、研究開発用の小型原子層堆積装置です。また、関連装置として成膜後の膜質改善用途に、アニール装置を紹介します。 view page

第 26 回プラズマエレクトロニクス講習会 view page

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原子 変換 view page

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超重原子核の新たな核分裂機構を解明 view page

わたしたちは「相模川流域の自然と文化」をテーマに活動している地域博物館です view page