Similar to シャロートレンチアイソレーション
半導体デバイス製造
Semiconductor device fabrication反応性イオンエッチング
Reactive-ion etchingビア (電子回路)
Via (electronics)微細加工技術
Microfabrication歪みシリコン
Strained siliconファーネスアニール
Furnace annealファウンドリ
Foundry modelフォトマスク
Photomaskフォトリソグラフィ
Photolithography深掘りRIE
Deep reactive-ion etching不純物
Chemical impurity物理気相成長
Physical vapor depositionプラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor depositionプリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronicsプレーナー プロセス
Planar processプローブカード
Probe card分子エレクトロニクス
Molecular electronics分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxyベーキング
Low hydrogen annealingホウリンケイ酸ガラス
Borophosphosilicate glassマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingマイクロシステムズ ・インターナショナル
Microsystems Internationalマスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyミニマルファブ
メゾスコピック領域
Mesoscopic physicsメタライズ
Metallizing有機金属気相成長法
Metalorganic vapour-phase epitaxyラピッドサーマルプロセス
Rapid thermal processing