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1093
1093 (number)5ナノメートル
5 nm processHigh-κ絶縁体
High-κ dielectricLADI
RCA洗浄
RCA cleanSiP
System in a packageStranski-Krastanovモード
Stranski–Krastanov growthSU-8
SU-8 photoresistSystem-on-a-chip
System on a chipアクセプタ (半導体)
アッシング
Ashingイオン注入
Ion implantationイレブンナイン
ウェットエッチング
Chemical millingウェハー
Wafer (electronics)液浸
Oil immersion液浸リソグラフィ
SOI
Silicon on insulatorエッチング
Etchingエッチング (微細加工)
Etching (microfabrication)エピタキシャル成長
Epitaxyオーミック接触
Ohmic contact回路配置利用権
化学機械研磨
Chemical-mechanical polishing化学気相成長
Chemical vapor deposition拡散ポンプ
Diffusion pump基板工程
Front end of lineキャリアテープ