Similar to 液浸リソグラフィ
熱酸化
Thermal oxidation
配線工程
Back end of line
バックグラインド
Wafer backgrinding
バッファード オキサイド エッチ液
Buffered oxide etch
ハードマスク
Hardmask
半導体故障解析
半導体集積回路の回路配置に関する法律
ファブレス
Fabless manufacturing
半導体製造装置
半導体デバイス製造
Semiconductor device fabrication
反応性イオンエッチング
Reactive-ion etching
ビア (電子回路)
Via (electronics)
歪みシリコン
Strained siliconファーネスアニール
Furnace anneal
ファウンドリ
Foundry model
深掘りRIE
Deep reactive-ion etching
不純物
Chemical impurity
物理気相成長
Physical vapor deposition
プラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor depositionプレーナー プロセス
Planar process
プローブカード
Probe card
分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxy
ベーキング
Low hydrogen annealing
ホウリンケイ酸ガラス
Borophosphosilicate glass
マイクロシステムズ ・インターナショナル
Microsystems Internationalミニマルファブ
メタライズ
Metallizing
有機金属気相成長法
Metalorganic vapour-phase epitaxy