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K-1 PREMIUM 2004 Dynamite!!
K-1 PREMIUM 2004 Dynamite!!5ナノメートル
5 nm processLADI
RCA洗浄
RCA cleanStranski-Krastanovモード
Stranski–Krastanov growthSU-8
SU-8 photoresistアクセプタ (半導体)
アッシング
Ashingイオン注入
Ion implantationイレブンナイン
ウェットエッチング
Chemical millingウェハー
Wafer (electronics)液浸
Oil immersion液浸リソグラフィ
SOI
Silicon on insulatorエッチング
Etchingエッチング (微細加工)
Etching (microfabrication)エピタキシャル成長
Epitaxyオーミック接触
Ohmic contact回路配置利用権
化学機械研磨
Chemical-mechanical polishing化学気相成長
Chemical vapor deposition拡散ポンプ
Diffusion pump基板工程
Front end of lineキャリアテープ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithographyクヌーセンセル
Knudsen cell原子層エッチング
Atomic layer etching