Similar to 極端紫外線リソグラフィ

フォトリソグラフィ
Photolithography
マスクレス リソグラフィ
Maskless lithography
ナノリソグラフィ
Nanolithography
液浸
Oil immersion
フォトレジスト
Photoresist
液浸リソグラフィ

次世代リソグラフィ
Next-generation lithography
ソフトリソグラフィ
Soft lithography
ソリッドイマージョンレンズ
Solid immersion lens
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
微細加工技術
Microfabrication
フォトマスク
Photomask
マイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing
フランク=コンドンの原理
Franck–Condon principle
レジスト
Resist (semiconductor fabrication)
レンチキュラー
Lenticular printing
LADI
SU-8
SU-8 photoresist
原子層エッチング
Atomic layer etching
原子層堆積
Atomic layer deposition
自己整合

自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structures
ステッパー
Stepper
電子線描画装置
Electron-beam lithography
ナノトランスファープリンティング
Nanotransfer printing
プリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics
分子エレクトロニクス
Molecular electronicsメゾスコピック領域
Mesoscopic physics