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液浸
Oil immersion液浸リソグラフィ
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography▲1 trendsソリッドイマージョンレンズ
Solid immersion lensナノリソグラフィ
Nanolithography微細加工技術
Microfabricationフォトリソグラフィ
Photolithography▲1 trendsマスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyLADI
原子層エッチング
Atomic layer etching原子層堆積
Atomic layer deposition自己整合
自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structuresソフトリソグラフィ
Soft lithographyナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyナノトランスファープリンティング
Nanotransfer printingフォトマスク
Photomask▲1 trendsプリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics分子エレクトロニクス
Molecular electronicsマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printingメゾスコピック領域
Mesoscopic physics光流体工学
Optofluidicsフォトニクス
Photonicsプラズモニクス
Plasmonics5ナノメートル
5 nm processHigh-κ絶縁体
High-κ dielectricRCA洗浄
RCA cleanSiP
System in a package