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集束イオンビーム
Focused ion beam
シリコンウェハー
▲1 trends
垂直統合型デバイスメーカー
Integrated device manufacturer
ステッパー
Stepper
スパッタリング
Sputtering
スピンコート
Spin coating
セカンドソース
Second source
ダイシング
Die preparation
ダイシングソー
Dicing saw
ダイボンダ
ダイレクトウエハー法
探針
Test probe
超高速集積回路プログラム
Very High Speed Integrated Circuit Program
チョクラルスキー法
Czochralski method
ツーフローMOCVD
半導体の低消費電力技術
テープアウト
Tape-out
デザインルールチェック
Design rule checking
テスト対象デバイス
Device under testテストパターン
デバイスシミュレーション
電子線描画装置
Electron-beam lithography
銅配線
Copper interconnects
ドープ
Doping (semiconductor)
ドナー (半導体)
ドーパント
Dopant
ドライエッチング
Dry etching
熱CVD
