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半導体デバイス製造
Semiconductor device fabrication反応性イオンエッチング
Reactive-ion etchingビア (電子回路)
Via (electronics)歪みシリコン
Strained siliconファーネスアニール
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Foundry model深掘りRIE
Deep reactive-ion etching不純物
Chemical impurity物理気相成長
Physical vapor depositionプラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor depositionプレーナー プロセス
Planar processプローブカード
Probe card分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxyベーキング
Low hydrogen annealingホウリンケイ酸ガラス
Borophosphosilicate glassマイクロシステムズ ・インターナショナル
Microsystems Internationalミニマルファブ
メタライズ
Metallizing有機金属気相成長法
Metalorganic vapour-phase epitaxyラピッドサーマルプロセス
Rapid thermal processingラムリサーチ
Lam Researchリモート・プラズマ
リンケイ酸ガラス
Phosphosilicate glassレジスト
Resist (semiconductor fabrication)ワイヤボンダ
シェルドン・ロバーツ
Sheldon Robertsジェイ・ラスト
Jay Last日本マイクロニクス