Category:半導体製造
極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithography▲1 trends
エッチング
Etching
ウェハー
Wafer (electronics)
シリコンウェハー
スパッタリング
Sputtering
SOI
Silicon on insulator
RCA洗浄
RCA clean
原子層堆積
Atomic layer deposition
プローブカード
Probe card
ファブレス
Fabless manufacturing
日本マイクロニクス
探針
Test probe
レジスト
Resist (semiconductor fabrication)
High-κ絶縁体
High-κ dielectric
セカンドソース
Second source
分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxy
シャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolation
イオン注入
Ion implantation
テープアウト
Tape-out
反応性イオンエッチング
Reactive-ion etching
熱酸化
Thermal oxidation
電子線描画装置
Electron-beam lithography
半導体デバイス製造
Semiconductor device fabrication
半導体試験装置
Automatic test equipment
オーミック接触
Ohmic contact
イレブンナイン
銅配線
Copper interconnects
ダイシング
Die preparation