Category:半導体製造
ファウンドリ
Foundry model▲1 trends極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithographyステッパー
StepperSOI
Silicon on insulator歪みシリコン
Strained siliconアッシング
Ashingテープアウト
Tape-out半導体の低消費電力技術
半導体故障解析
回路配置利用権
物理気相成長
Physical vapor depositionサリサイド
Salicide熱酸化
Thermal oxidation5ナノメートル
5 nm process深掘りRIE
Deep reactive-ion etching探針
Test probe微細加工技術
Microfabrication半導体集積回路の回路配置に関する法律
ソフトリソグラフィ
Soft lithography次世代リソグラフィ
Next-generation lithographyプリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics分子エレクトロニクス
Molecular electronicsスピンコート
Spin coatingメゾスコピック領域
Mesoscopic physicsダイシング
Die preparationリモート・プラズマ
銅配線
Copper interconnects自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structures