Category:半導体製造
エッチング
Etching
SOI
Silicon on insulator
イオン注入
Ion implantation
RCA洗浄
RCA clean
スパッタリング
Sputtering
フォトリソグラフィ
Photolithography
分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxy
プラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor deposition
原子層堆積
Atomic layer deposition
有機金属気相成長法
Metalorganic vapour-phase epitaxy
High-κ絶縁体
High-κ dielectric
ダイシング
Die preparation
JTAG
JTAG
液浸
Oil immersion
ウェットエッチング
Chemical milling
SiP
System in a package
集束イオンビーム
Focused ion beam
ドープ
Doping (semiconductor)
不純物
Chemical impurityサリサイド
Salicide
テープアウト
Tape-out
深掘りRIE
Deep reactive-ion etching
System-on-a-chip
System on a chip
反応性イオンエッチング
Reactive-ion etching
混合ガス
Gas blending for scuba diving
セカンドソース
Second source
レジスト
Resist (semiconductor fabrication)テストパターン
