Category:半導体製造
ウェハー
Wafer (electronics)エピタキシャル成長
Epitaxyオーミック接触
Ohmic contactSU-8
SU-8 photoresistステッパー
Stepperシリコンウェハー
フォトリソグラフィ
PhotolithographyHigh-κ絶縁体
High-κ dielectricチョクラルスキー法
Czochralski method半導体製造装置
テープアウト
Tape-outJTAG
JTAGシャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolation有機金属気相成長法
Metalorganic vapour-phase epitaxyイオン注入
Ion implantationドープ
Doping (semiconductor)イレブンナイン
フォトマスク
Photomaskダイシングソー
Dicing sawドーパント
Dopant液浸
Oil immersionスピンコート
Spin coating反応性イオンエッチング
Reactive-ion etchingサリサイド
Salicideドライエッチング
Dry etchingハードマスク
Hardmask分子エレクトロニクス
Molecular electronics半導体故障解析