Category:半導体製造
自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structuresリモート・プラズマ
ハードマスク
Hardmask半導体試験装置
Automatic test equipmentドーパント
Dopant配線工程
Back end of lineJTAG
JTAGセカンドソース
Second source半導体デバイス製造
Semiconductor device fabricationミニマルファブ
テスト対象デバイス
Device under testイレブンナイン
オーミック接触
Ohmic contactベーキング
Low hydrogen annealing垂直統合型デバイスメーカー
Integrated device manufacturerチョクラルスキー法
Czochralski methodSU-8
SU-8 photoresistエピタキシャル成長
Epitaxy化学機械研磨
Chemical-mechanical polishing拡散ポンプ
Diffusion pump物理気相成長
Physical vapor deposition日本マイクロニクス
シャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolationステッパー
Stepperレジスト
Resist (semiconductor fabrication)フォトマスク
Photomask電子線描画装置
Electron-beam lithography半導体製造装置