Category:半導体製造
デザインルールチェック
Design rule checkingプリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics電子線描画装置
Electron-beam lithographyドーパント
Dopant半導体の低消費電力技術
SiP
System in a package物理気相成長
Physical vapor deposition半導体デバイス製造
Semiconductor device fabricationスピンコート
Spin coatingテープアウト
Tape-outダイシングソー
Dicing saw反応性イオンエッチング
Reactive-ion etching不純物
Chemical impurityフォトリソグラフィ
Photolithographyラピッドサーマルプロセス
Rapid thermal processing5ナノメートル
5 nm processドライエッチング
Dry etchingフォトマスク
Photomask液浸
Oil immersionJTAG
JTAGファウンドリ
Foundry modelシリコンウェハー
配線工程
Back end of line極端紫外線リソグラフィ
Extreme ultraviolet lithographyオーミック接触
Ohmic contact分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxySOI
Silicon on insulatorRCA洗浄
RCA clean