Category:半導体製造
リモート・プラズマ
シェルドン・ロバーツ
Sheldon Roberts
ジェイ・ラスト
Jay Last
リンケイ酸ガラス
Phosphosilicate glass
バックグラインド
Wafer backgrindingメゾスコピック領域
Mesoscopic physicsナノトランスファープリンティング
Nanotransfer printing
微細加工技術
Microfabricationアッシング
Ashingファーネスアニール
Furnace anneal
自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structuresソフトリソグラフィ
Soft lithography
メタライズ
Metallizing
半導体集積回路の回路配置に関する法律
原子層エッチング
Atomic layer etching
自己整合
デバイスシミュレーション
ツーフローMOCVD
サリサイド
Salicide
集束イオンビーム
Focused ion beam
5ナノメートル
5 nm process
化学機械研磨
Chemical-mechanical polishingナノリソグラフィ
Nanolithography
デザインルールチェック
Design rule checking
Stranski-Krastanovモード
Stranski–Krastanov growth
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithography
次世代リソグラフィ
Next-generation lithography
ダイシングソー
Dicing saw
