Category:半導体製造
半導体集積回路の回路配置に関する法律
原子層エッチング
Atomic layer etchingホウリンケイ酸ガラス
Borophosphosilicate glass液浸リソグラフィ
集積回路についての知的所有権に関する条約
LADI
アクセプタ (半導体)
エッチング (微細加工)
Etching (microfabrication)拡散ポンプ
Diffusion pump次世代リソグラフィ
Next-generation lithographyダイレクトウエハー法
超高速集積回路プログラム
Very High Speed Integrated Circuit Program銅配線
Copper interconnectsドナー (半導体)
バッファード オキサイド エッチ液
Buffered oxide etchビア (電子回路)
Via (electronics)プレーナー プロセス
Planar processマイクロシステムズ ・インターナショナル
Microsystems Internationalマスクレス リソグラフィ
Maskless lithographyメゾスコピック領域
Mesoscopic physicsシェルドン・ロバーツ
Sheldon Robertsジェイ・ラスト
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クヌーセンセル
Knudsen cellファーネスアニール
Furnace annealナノリソグラフィ
Nanolithographyマイクロコンタクトプリンティング
Microcontact printing微細加工技術
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