Category:半導体製造
ラピッドサーマルプロセス
Rapid thermal processingドープ
Doping (semiconductor)原子層エッチング
Atomic layer etchingワイヤボンダ
ナノトランスファープリンティング
Nanotransfer printingソフトリソグラフィ
Soft lithographyホウリンケイ酸ガラス
Borophosphosilicate glassバックグラインド
Wafer backgrinding基板工程
Front end of line次世代リソグラフィ
Next-generation lithographyシャトル・サービス
化学気相成長
Chemical vapor deposition半導体集積回路の回路配置に関する法律
銅配線
Copper interconnectsメタライズ
Metallizingプリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics半導体の低消費電力技術
回路配置利用権
ファーネスアニール
Furnace annealドライエッチング
Dry etchingアッシング
Ashing反応性イオンエッチング
Reactive-ion etching微細加工技術
Microfabrication熱酸化
Thermal oxidationスピンコート
Spin coatingプローブカード
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