Category:半導体製造
ファブレス
Fabless manufacturing化学機械研磨
Chemical-mechanical polishing日本マイクロニクス
回路配置利用権
ドライエッチング
Dry etchingSystem-on-a-chip
System on a chip半導体デバイス製造
Semiconductor device fabricationHigh-κ絶縁体
High-κ dielectric電子線描画装置
Electron-beam lithography不純物
Chemical impurityシャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolationプローブカード
Probe cardナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyメタライズ
Metallizing5ナノメートル
5 nm processハードマスク
Hardmaskテスト対象デバイス
Device under test自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structures探針
Test probeデザインルールチェック
Design rule checking集束イオンビーム
Focused ion beam熱CVD
半導体の低消費電力技術
半導体故障解析
ワイヤボンダ
Stranski-Krastanovモード
Stranski–Krastanov growthラピッドサーマルプロセス
Rapid thermal processingプリンテッド・エレクトロニクス
Printed electronics