Category:半導体製造
チョクラルスキー法
Czochralski method
化学機械研磨
Chemical-mechanical polishing
ドープ
Doping (semiconductor)
熱酸化
Thermal oxidation
プローブカード
Probe card
半導体故障解析
ウェハー
Wafer (electronics)
シャロートレンチアイソレーション
Shallow trench isolation
ファーネスアニール
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探針
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化学気相成長
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イオン注入
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拡散ポンプ
Diffusion pump
ナノインプリント・リソグラフィ
Nanoimprint lithographyナノリソグラフィ
Nanolithography
原子層エッチング
Atomic layer etching
自己組織化リソグラフィ
Directed assembly of micro- and nano-structures
テスト対象デバイス
Device under test
自己整合
イレブンナイン
ダイシング
Die preparation
Stranski-Krastanovモード
Stranski–Krastanov growth