Category:半導体製造
分子線エピタキシー法
Molecular-beam epitaxySOI
Silicon on insulatorエッチング
Etchingイオン注入
Ion implantation原子層堆積
Atomic layer depositionプラズマCVD
Plasma-enhanced chemical vapor depositionRCA洗浄
RCA cleanSiP
System in a packageダイシング
Die preparation液浸
Oil immersion集束イオンビーム
Focused ion beamウェットエッチング
Chemical milling5ナノメートル
5 nm process不純物
Chemical impurityテストパターン
混合ガス
Gas blending for scuba diving有機金属気相成長法
Metalorganic vapour-phase epitaxyHigh-κ絶縁体
High-κ dielectric半導体故障解析
フォトリソグラフィ
Photolithographyメゾスコピック領域
Mesoscopic physics熱CVD
ソリッドイマージョンレンズ
Solid immersion lensダイボンダ
テープアウト
Tape-outスパッタリング
SputteringツーフローMOCVD
歪みシリコン
Strained silicon